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控制中的实验室装修

发布日期:2019-09-24 17:09:43  点击量:49   信息来源:原创

  实验室装修空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件 下,应 考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越 严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细, 所以对温度波动范围的要求越来越小。实验室装修提醒例如在大规模集成电路生产的光刻 曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨 胀系数的差要求越来越小。直径100 um 的硅片,温度上升1度,就引起了 0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求 湿度值一般较低 ,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车 间不宜超过25度。

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